扫描电子显微镜(SEM)

1. 主要功能及基本原理


扫描电镜是一种新型的电子光学仪器。它具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点。数十年来,扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中,促进了各有关学科的发展。其基本原理是用极细的电子束在样品表面扫描,将产生的二次电子用特制的探测器收集,形成电信号运送到显像管,在荧光屏上显示物体(细胞、组织)表面的立体构像,并可摄制成照片。

 

2. 主要技术指标


分辨率:1.0nm(15KV.WD=4.0mm)

 1.6nm(1KV.WD=1.5mm,减速模式)

 2.5nm(1KV.WD=1.5mm)

放大倍数:低放大倍数模式 20-2,000x

 高放大倍数模式 100-800,000x

          电子束系统:ZrO/W 肖特基电子枪

 电流 1pA-100nA

 加速电压 0.5-30KV(标准模式)

 着陆电压 0.1-2.0KV(减速模式)

           透镜系统:3级电磁线圈系统

           物镜光阑:4孔光阑,真空外选择和细调


3.主要特点


1. 100nA的大探针电流,新开发的肖特基电子    枪保证100nA的大探针电流

2. 通用的分析型样品室预留了多种接口,可以   安装以下附件进行分析:EDX,WDX,EBSP,STEM,BSE, CL,超低温台,样品室CCD

3. FF模式可用于在超高分辨率SEM中观察磁性样品及EBSP分析

4. 超高分辨率 1.0nm/15kV1.6nm/1kV(减速模式),超高分辨率的获得利用了日立已被检验的半内透镜技术。

5. 超级ExB技术用于控制SE/BSE信号检测,实现消除放电现象及信号混合

6. 超低着陆电压用于浅表面观察(减速模式),电子束减速技术保证了超低电压的高分辨成像